REFERANS FRBTIFR-BTI-2023-01030
TÜR AB BTB
GTİP 8486.20.00
KISA TANIM Mikroteknoloji fotolitografi cihazı/ekipmanı.
TANIM LAZER IŞINIYLA (DILASE SERISI) VE MASKE HIZALAYICILARLA (UV-KUB SERISI: ÇALIŞILACAK YÜZEY, IŞIĞA DUYARLI BIR REÇINE VE BIR MASKE ILE KAPLANMIŞ, ULTRAVIYOLE IŞINA MARUZ BIRAKILMIŞTIR) DOĞRUDAN YAZMA YOLUYLA BILEŞENLERIN VE ENTEGRE DEVRELERIN ÜRETIMINE ADANMIŞ FOTOLITOGRAFI EKIPMANI ARAŞTIRMACILARA VE SANAYICILERE YÖNELIK, YÜKSEK ÇÖZÜNÜRLÜKLÜ (UM DÜZEYINDE) YÜKSEK ÇÖZÜNÜRLÜKLÜ (MASKE TARAFINDAN KORUNMAYAN YÜZEYLERE SALDIRAN UV LED'LER TARAFINDAN YAYILAN VE MIKROAKIŞKANLAR ALANLARINDAKI GEREKSINIMLERIN YANI SIRA SPESIFIK IHTIYAÇLARINI KARŞILAMAK ÜZERE DOĞRUDAN TASARLANMIŞ) VE MIKROELEKTRONIK (YARI ILETKEN BILEŞENLERIN, DEVRELERIN, ELEKTRONIK ÇIPLERIN VB. ÜRETIMI), FOTONIK (DALGA KILAVUZLARININ ÜRETIMI), MEMS, YÜZEY IŞLEVSELLEŞTIRME VB. ALANLARINDAKI PROFESYONELLERIN SPESIFIKASYONLARI. DOKUNMATIK EKRANLI, ÖZEL YAZILIMLI VE OPERATÖR TARAFINDAN PROGRAMLANABILEN, HIZLI PROTOTIPLEMEYE ÇOK UYGUN OLAN BU MIKROTEKNOLOJI CIHAZLARI, OLUŞTURMAK VE ÜRETMEK IÇIN ÇEŞITLI ALT TABAKALAR (YARI ILETKENLER, CAM, POLIMER, KRISTAL, REÇINE, ESNEK FILM) ÜZERINE "YAZMAYA" OLANAK TANIR. KONFIGÜRASYONU KULLANICILARI TARAFINDAN KEŞFEDILEN UYGULAMA ALANLARINA (ÖRNEĞIN MIKRO ELEKTRONIK, ENTEGRE OPTIK, MIKRO OPTIK, TIBBI) UYARLANMIŞ MASKELER VEYA ÇEŞITLI MIKRO YAPILAR.
BAŞLANGIÇ TARİHİ 6.04.2023
BİTİŞ TARİHİ 5.04.2026
YABANCI TANIM ÉQUIPEMENTS DE PHOTOLITHOGRAPHIE DÉDIÉS À LA PRODUCTION DE COMPOSANTS ET DE CIRCUITS INTÉGRÉS, PAR ÉCRITURE DIRECTE PAR FAISCEAU LASER (GAMME DILASE) ET ALIGNEURS DE MASQUE (GAMME UV-KUB : LA SURFACE À TRAVAILLER, COUVERTE D’UNE RÉSINE PHOTOSENSIBLE ET D’UN MASQUE, EST EXPOSÉE À UN RAYONNEMENT ULTRAVIOLET ÉMISE PAR DES LED UV QUI ATTAQUE LES SURFACES NON PROTÉGÉES PAR LE MASQUE) DE HAUTE RÉSOLUTION (DE L’ORDRE DU ΜM), S’ADRESSANT AUX CHERCHEURS ET INDUSTRIELS, ET DIRECTEMENT CONÇUS POUR RÉPONDRE À LEURS BESOINS SPÉCIFIQUES, DANS LES DOMAINES DE LA MICROFLUIDIQUE AINSI QU’AUX EXIGENCES ET SPÉCIFICATIONS DES PROFESSIONNELS DE LA MICROÉLECTRONIQUE (RÉALISATION DE COMPOSANTS SEMI-CONDUCTEURS, CIRCUITS, PUCES ÉLECTRONIQUES…), DE LA PHOTONIQUE (RÉALISATION DE GUIDES D’ONDES), DES MEMS, DE LA FONCTIONNALISATION DE SURFACE ETC. CES APPAREILS DE MICROTECHNOLOGIE, AVEC ÉCRAN TACTILE, LOGICIEL DÉDIÉ ET PROGRAMMABLES PAR L’OPÉRATEUR, BIEN ADAPTÉS AU PROTOTYPAGE RAPIDE, PERMETTENT « D’ÉCRIRE » SUR DIVERS SUBSTRATS (SEMI-CONDUCTEURS, VERRE, POLYMÈRE, CRISTAL, RÉSINE, FILM SOUPLE) AFIN DE RÉALISER ET FABRIQUER DES MASQUES OU DIVERSES MICRO-STRUCTURES DONT LA CONFIGURATION EST ADAPTÉE AUX DOMAINES D’APPLICATION EXPLORÉS PAR LEURS UTILISATEURS (MICRO-ÉLECTRONIQUE, OPTIQUE INTÉGRÉE, MICRO-OPTIQUE, MÉDICAL PAR EXEMPLE).
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