GTİP 37050090 | Elektron ışınlı şablon maskesi. | AB BTB

Bu sayfada, Elektron ışınlı şablon maskesi. ürünü için verilen GTİP 3705.00.90 kapsamında yayımlanan kararının detayları yer almaktadır.

REFERANS	ATBTI2022000260-DEC
TÜR	AB BTB
GTİP	3705.00.90
KISA TANIM	Elektron ışınlı şablon maskesi.
TANIM	şablon maskesı (delık maskesı), - başvuru sahıbının bılgılerıne göre, elektrıksel olarak ıletken bır yüzey kaplamasına sahıp bır soı sılıkon levha dıskınden yapılmıştır. dısk, yaklaşık 20 x 20 mm boyutunda ve yaklaşık 15 μm artık kalınlığa sahıp, lıtografı ve aşındırma ışlemı adımları kullanılarak üretılen, merkezı olarak konumlandırılmış bır alana (zar alanı) sahıptır. membran alanı (açıklık alanı), farklı boyutlarda (yaklaşık 3,2 um ve yaklaşık 4,0 um; açıklık boyutu başına yaklaşık 260.000 açıklık) değışen açıklık genışlıklerıne sahıp tamamen kazınmış, kare açıklık açıklıklarından oluşan bır matrıs ıçerır; - gölge maskesı olarak ve elektron ışınları ıçın ışın kalıbrasyon hedefı olarak kullanılır ve çok elektronlu ışın maskesı yazıcısında kullanılmak üzere tasarlanmıştır. boyutlar: yaklaşık 50 x 50 x 0,65 mm
BAŞLANGIÇ TARİHİ	6.07.2022
BİTİŞ TARİHİ	5.07.2025