REFERANS DEBTI50277/24-1
TÜR AB BTB
GTİP 7326.90.98
KISA TANIM Sputter kaplama hedef plakası.
TANIM TEKNİK ÇİZİME GÖRE YAPILMIŞ ŞEKİL ÖZEL BİR DESTEK PLAKASINA KAYNAKLANMIŞ, AĞIRLIK OLARAK ÖNCELİKLİ ÇELİK İÇERİĞİ OLAN BİR ÇELİK-BAKIR ALAŞIMINDAN YAPILMIŞ DAİRESEL, DÜZ BİR PLAKADIR (HEDEF). HEDEF, ATOMLARIN YÜKSEK ENERJİLİ İYONLARLA BOMBARDIMANLA SERBEST BIRAKILDIĞI VE GAZ FAZINA GEÇTİĞİ KATI BİR CİSİM OLARAK SPUTTER KAPLAMADA KULLANILIR.YARI İLETKEN PARÇALARIN ÜRETİM SİSTEMLERİNDE KULLANILMASI HEDEFLENİYOR.ÇELİK, AĞIRLIK OLARAK BAKIRDAN ÖNDEDİR.
BAŞLANGIÇ TARİHİ 24.02.2025
BİTİŞ TARİHİ 23.02.2028
YABANCI TANIM ES HANDELT ES SICH UM EINE KREISRUNDE, FLACHE PLATTE (TARGET) AUS KUPFER, DIE AUF EINER FORMSPEZIFISCHEN, NACH TECHNISCHER ZEICHNUNG GEFERTIGTEN TRÄGERPLÄTTE AUS EINER STAHL-KUPFER-LEGIERUNG MIT GEWICHTSMÄßIG VORHERRSCHENDEM STAHLANTEIL AUFGESCHWEIßT IST. DAS TARGET WIRD BEI DER SPUTTERBESCHICHTUNG ALS FESTKÖRPER VERWENDET, AUS DEM ATOME DURCH BESCHUSS MIT ENERGIEREICHEN IONEN HERAUSGELÖST WERDEN UND IN DIE GASPHASE ÜBERGEHEN. NACHDEM DAS MATERIAL ABGETRAGEN IST, MUSS ES AUSGETAUSCHT WERDEN. DAS TARGET SOLL IN ANLAGEN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN VERWENDET WERDEN. STAHL IST GEGENÜBER KUPFER GEWICHTSMÄßIG VORHERRSCHEND. - ANTRAGSTELLERANGABEN - DERARTIGE ERZEUGNISSE GEHÖREN ALS "ANDERE ALS IN DEN VORGENANNTEN TARIC-CODES GENANNTE WAREN AUS STAHL" ZUM TARIC-CODE 7326 90 98 90.
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