REFERANS | FRBTIFR-BTI-2024-04997 |
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TÜR | AB BTB |
GTİP | 8486.90.00 |
KISA TANIM | Yarı iletken püskürtme hedefi parçası. |
TANIM | YALNIZCA PÜSKÜRTME HEDEFLERI BIÇIMINDE YARI ILETKEN CIHAZLARIN IMALATI IÇIN KULLANILAN MAKINE VE CIHAZ PARÇALARI. ÜRÜN TEK PARÇA OLAN VEYA EKIPMAN IÇERISINDE SABITLENMEYE IZIN VERECEK BIR DESTEK ÜZERINE KAYNAK YAPILABILIR METAL BIR PARÇADIR. KATODIK PÜSKÜRTME, MALZEMEDEN ATOMLARI AYIRMAK VE BUNLARI BIR ALT TABAKA (SILIKON GÖFTA VEYA MIKROELEKTRONIK ÜRETIMINDE KULLANILAN, YARI ILETKEN MALZEMEDEN TEK KRISTALIN ÇOK INCE TABAKASI) ÜZERINE YERLEŞTIRMEK IÇIN BIR HEDEFIN (KATOT) YÜZEYINDEKI PLAZMA ENERJISINI (KISMEN IYONIZE GAZ) KULLANIR. BILEŞENLER). HEDEF, MAKINENIN ÇEŞITLI DESTEKLER (YARI ILETKENLER, ELEKTRONIK PARÇALAR, VS. IMALINDA KULLANILAN) ÜZERINDE ÇOK INCE KALINLIKTA METAL BIRIKIKLERI YAPMAYI AMAÇLADIĞI MAKINEYE IZIN VERMEKTEDIR. HEDEFLER ÇEŞITLI ŞEKILLERDE (YUVARLAK, DIKDÖRTGEN, ÜÇGEN, VB.) GELIR VE FARKLI METALLER VEYA ALAŞIMLARDAN (ALÜMINYUM, TITANYUM, TUNGSTEN, BAKIR, VB.) OLUŞUR. TEK BIR METAL BLOKTAN YAPILMIŞTIR VEYA SOĞUTMA KANALLARI ILE DONATILMIŞ VEYA OLMAYAN BIR DESTEK ÜZERINE KAYNAK YAPILMIŞTIR. BAZEN SABITLEME DELIKLERI OLABILIR. |
BAŞLANGIÇ TARİHİ | 9.08.2024 |
BİTİŞ TARİHİ | 8.08.2027 |
YABANCI TANIM | PARTIES DE MACHINES ET APPAREILS UTILISÉS EXCLUSIVEMENT POUR LA FABRICATION DE DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEUR, SE PRÉSENTANT SOUS LA FORME DE CIBLES DE PULVÉRISATION CATHODIQUE. LE PRODUIT EST UNE PIÈCE EN MÉTAL, POUVANT ÊTRE MONOBLOC OU SOUDÉE SUR UN SUPPORT PERMETTANT SA FIXATION DANS L’ÉQUIPEMENT. LA PULVÉRISATION CATHODIQUE UTILISE L’ÉNERGIE DU PLASMA (GAZ EN PARTIE IONISÉ) À LA SURFACE D’UNE CIBLE (CATHODE) POUR ARRACHER LES ATOMES DU MATÉRIAU ET LES DÉPOSER SUR UN SUBSTRAT (WAFER DE SILICIUM OU PLAQUE TRÈS FINE DE MATÉRIAU SEMI-CONDUCTEUR MONOCRISTALLIN, UTILISÉE POUR FABRIQUER DES COMPOSANT DE MICROÉLECTRONIQUE). LA CIBLE PERMET À LA MACHINE À LAQUELLE ELLE EST DESTINÉE DE RÉALISER DES DÉPÔTS MÉTALLIQUES DE TRÈS FAIBLE ÉPAISSEUR SUR DES SUPPORTS DIVERS (ENTRANT DANS LA FABRICATION DES SEMI-CONDUCTEURS, DES COMPOSANTS ÉLECTRONIQUES, ETC.). LES CIBLES SE PRÉSENTENT SOUS DES FORMES VARIÉES (RONDE, RECTANGULAIRE, TRIANGULAIRE,ETC.) ET SONT COMPOSÉES DE DIFFÉRENTS MÉTAUX OU ALLIAGES (ALUMINIUM, TITANE, TUNGSTÈNE, CUIVRE, ETC.). ELLES SONT CONSTITUÉES D’UN SEUL ET MÊME BLOC DE MÉTAL OU SOUDÉES SUR UN SUPPORT ÉQUIPÉ OU NON DE CANAUX DE REFROIDISSEMENT. DES TROUS DE FIXATION PEUVENT PARFOIS EXISTER. |
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